潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，潔凈室使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
潔凈室狀態(tài)分為以下三種：空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。靜態(tài)：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施)，但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。動態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要，可從事正常的工作。在潔凈室內(nèi)，從送風(fēng)口到回風(fēng)口，氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化，加上進風(fēng)靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用，全室斷面上的流速比較均勻，而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點。
在潔凈室中進行干燥是一件非常棘手的事情。因為潔凈室中有著諸多的要求：應(yīng)減少多余的管道或者供應(yīng)通道，將新鮮空氣供氣管道的數(shù)量到比較低程度，干燥過程越快越好，干燥時的能源消耗越少越好；并盡可能地不在潔凈室內(nèi)交換空氣，以避免影響潔凈室的潔凈度。同時，鑒于企業(yè)生產(chǎn)廠房的面積有限，干燥機的占地面積同樣越小越好。吸收了水分的潮濕空氣被輸入潔凈室中烘干，干燥機的熱泵會抽取空氣中的水分。在熱泵的作用下，空氣中的潮氣遇冷凝結(jié)成水，從而排出干燥機外。除此之外，冷卻了的空氣再次被加熱并送去干燥待干燥的物體。整個干燥過程都是在一個封閉的循環(huán)過程中完成的，因此不會受到外部環(huán)境的影響。重要的是，生產(chǎn)環(huán)境和潔凈室環(huán)境也不會受到干燥工藝過程的影響。在單向流潔凈室內(nèi)，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至室外，達到凈化室內(nèi)空氣的目的。通過上面分析，可以認為保證單向流潔凈室特性(高潔凈度和快速自凈恢復(fù)能力)的重要先決條件有兩個：①潔凈室來流的潔凈度；②潔凈室來流的活塞流情況；根據(jù)流體力學(xué)原理，來流條件對以后的流動狀況將有直接的重要影響，潔凈室送風(fēng)面出口氣流也就是工作區(qū)的來流。聯(lián)系我們
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